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    高速3D激光共聚焦顯微鏡

    簡(jiǎn)要描述:NS3500高速3D激光共聚焦顯微鏡是韓國(guó)Nanoscope Systems 公司專(zhuān)門(mén)為低維材料研究所研發(fā)的一款高速3D顯微鏡。與傳統(tǒng)的3D探針輪廓儀相比較,NS3500使用405nm的激光作為光源,進(jìn)行無(wú)損傷檢測(cè),不與樣品的表面直接接觸,因此不會(huì)損傷樣品的表面,測(cè)量精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于探針輪廓儀。

    • 產(chǎn)品型號(hào):NS3500
    • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
    • 更新時(shí)間:2025-06-09
    • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:4012

    詳細(xì)介紹

    品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
    產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車(chē)及零部件
    激光405nm

    NS-3500是一種可靠的三維(3D)測(cè)量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測(cè)量和檢測(cè)微觀(guān)三維結(jié)構(gòu),如半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等方面擁有多種解決方案。 


    Features & Benefits(性能及優(yōu)勢(shì)):

    • 高分辨無(wú)損傷光學(xué)3D測(cè)量                               自動(dòng)傾斜補(bǔ)償

    • 實(shí)時(shí)共焦成像                                                 簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)分析模式

    • 多種光學(xué)變焦                                                 雙Z掃描

      大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測(cè)

    • 實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像                            無(wú)樣品準(zhǔn)備


    Software (軟件):

    Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):

    NS-3500是測(cè)量低維材料的有前途的解決方案。

    可測(cè)量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

    -半導(dǎo)體:IC圖形,凹凸高度,線(xiàn)圈高度,缺陷檢測(cè),CMP工藝

    - FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測(cè),ITO圖案,LCD柱間距高度

    - MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

    -玻璃表面:薄膜太陽(yáng)能電池,太陽(yáng)能電池紋理,激光圖案

    -材料研究:模具表面檢測(cè),粗糙度,裂紋分析

    Specification (規(guī)格):

    Model

    Microscope  NS-3500

    備注


    Controller    NS-3500E

    物鏡倍率

    10x

    20x

    50x

    100x

    150x


    觀(guān)察/  測(cè)量范圍  

    水平 (H): μm

    1400

    700

    280

    140

    93


    垂直 (V): μm

    1050

    525

    210

    105

    70


    工作范圍: mm

    16.5

    3.1

    0.54

    0.3

    0.2


    數(shù)值孔徑(N.A.)

    0.30

    0.46

    0.80

    0.95

    0.95


    光學(xué)變焦

    x1 to x6


    總放大倍率

    178x to 26700x


    觀(guān)察/測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)  

    針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)


    高度測(cè)量

    測(cè)量掃描范圍

    精細(xì)掃描 : 400 μm (and/or) 長(zhǎng)掃描 : 10 mm [NS-3500-S]

    注 1

    長(zhǎng)掃描 : 10mm [NS-3500-T]

    顯示分辨率

    0.001 μm


    重復(fù)率 σ

    0.010 μm

    注 2

    寬度測(cè)量

    顯示分辨率

    0.001 μm


    重復(fù)率 3σ

    0.02 μm

    注 3

    幀記憶

    像素

    1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


    單色圖像

    12 bit


    彩色圖像

    8-bit for RGB each


    高度測(cè)量

    16 bit


    幀速率

    表面掃描

    20 Hz to 160 Hz


    線(xiàn)掃描

    ~8 kHz


    自動(dòng)功能

    自動(dòng)增益


    激光共焦測(cè)量光源

    波長(zhǎng)

    405nm


    輸出

    ~2mW


    激光等級(jí)

    Class 3b


    激光接收元件

    PMT (光電倍增管)


    光學(xué)觀(guān)察光源

    10W LED


    光學(xué)觀(guān)察照相機(jī)

    成像元件

    1/2" 彩色圖像 CCD 傳感器


    記錄分辨率

    640x480


    自動(dòng)調(diào)整

    增益, 快門(mén)速度, White balance


    數(shù)據(jù)處理單元

    PC


    電源

    電壓

    100 to 240 VAC, 50/60 Hz


    電流

    500 VA max.


    重量

    顯微鏡

    Approx. ~50 kg

    (Measuring head unit : ~12 kg)


    控制器

    ~8 kg


    隔振系統(tǒng)

    電子隔振器

    Option


    精細(xì)和長(zhǎng)距離掃描儀的雙重掃描模式僅適用于NS-3500-S(單鏡頭類(lèi)型)。                

    注1:精細(xì)掃描由壓電執(zhí)行器(PZT)執(zhí)行。

    注2 :以100×/ 0.95物鏡對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品(步長(zhǎng)1μm)進(jìn)行100次測(cè)量。      

    注 3 :以100×/ 0.95物鏡對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品(5μm間距)進(jìn)行100次測(cè)量。




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    Nanoscope Systems lnc
    地址:中華人民共和國(guó)上海市虹口區(qū)寶山路778號(hào)
    郵箱:info@nanoscope.net.cn
    傳真:86-21-60852363
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