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    激光三維表面輪廓儀

    簡要描述:NS3600 激光三維表面輪廓儀是韓國Nanoscope Systems 公司專門為低維材料科學研究所研發的一款激光共聚焦顯微鏡。NS3600 采用的是638nm 的激光作為光源,測量時無需與樣品表面接觸即可獲得樣品表面的三維測量數據,是進行材料表面檢測有效的工具。

    • 產品型號:NS3600
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2025-06-09
    • 訪  問  量:3964

    詳細介紹

    品牌其他品牌價格區間面議
    產地類別進口應用領域能源,建材/家具,航空航天,汽車及零部件,綜合

    NS-3600是一種可靠的三維(3D)激光表面輪廓儀,通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面有著多種解決方案。

    激光三維表面輪廓儀

    Features & Benefits(性能及優勢):

    • 高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

    • 實時共焦成像                                                 簡單的數據分析模式

    • 多種光學變焦                                                 雙Z掃描

      大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

    • 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備


    Software (軟件):

    激光三維表面輪廓儀

    Application field(應用領域):

    NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

    可測量微米和亞微米結構的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

    -半導體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

    - FPD產品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

    - MEMS器件:結構三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

    -玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

    -材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析


    激光三維表面輪廓儀


    Specifications(規格)

    Model

    Microscope                         NS-3600

    備注

    物鏡倍率

    10x

    20x

    50x

    100x


    觀察/  測量范圍  

    水平 (H): μm

    1400

    700

    280

    140


    垂直 (V): μm

    1050

    525

    210

    105


    WD: mm

    16.5

    3.1

    0.54

    0.3


    數值孔徑(N.A.)

    0.30

    0.46

    0.80

    0.95


    觀察/測量光學系統  

    針孔共聚焦光學系統


    高度測量

    測量掃描范圍

    10mm


    顯示分辨率

    0.001 μm


    重復率 σ

    0.02 μm

    注1

    寬度測量

    顯示分辨率

    0.001 μm


    重復率 3σ

    0.03 μm

    注 2

    幀記憶

    像素

    1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


    單色圖像

    12 bit


    彩色圖像

    8-bit for RGB each


    高度測量

    16 bit


    幀速率

    表面掃描

    20 Hz to 160 Hz


    線掃描

    ~8 kHz


    激光接收元件

    PMT (光電倍增管)


    激光

    波長

    638nm (2mW)


    光學觀察照相機

    成像元件

    彩色圖像 CCD 傳感器


    記錄分辨率

    1296x966


    數據處理單元

    PC


    電源

    電源電壓

    100 to 240 VAC, 50/60 Hz


    電流消耗

    500 VA max.


    重量

    顯微鏡

    大約. ~50 kg

    (測量頭大約: ~12 kg)


    控制器

    ~8 kg


    隔振系統

    氣浮隔振

    Option










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    Nanoscope Systems lnc
    地址:中華人民共和國上海市虹口區寶山路778號
    郵箱:info@nanoscope.net.cn
    傳真:86-21-60852363
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