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    激光三維表面輪廓儀

    簡(jiǎn)要描述:NS3600 激光三維表面輪廓儀是韓國(guó)Nanoscope Systems 公司專(zhuān)門(mén)為低維材料科學(xué)研究所研發(fā)的一款激光共聚焦顯微鏡。NS3600 采用的是638nm 的激光作為光源,測(cè)量時(shí)無(wú)需與樣品表面接觸即可獲得樣品表面的三維測(cè)量數(shù)據(jù),是進(jìn)行材料表面檢測(cè)有效的工具。

    • 產(chǎn)品型號(hào):NS3600
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時(shí)間:2025-06-09
    • 訪  問(wèn)  量:4012

    詳細(xì)介紹

    品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
    產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域能源,建材/家具,航空航天,汽車(chē)及零部件,綜合

    NS-3600是一種可靠的三維(3D)激光表面輪廓儀,通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測(cè)量和檢測(cè)微觀三維結(jié)構(gòu),如半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等方面有著多種解決方案。

    激光三維表面輪廓儀

    Features & Benefits(性能及優(yōu)勢(shì)):

    • 高分辨無(wú)損傷光學(xué)3D測(cè)量                               自動(dòng)傾斜補(bǔ)償

    • 實(shí)時(shí)共焦成像                                                 簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)分析模式

    • 多種光學(xué)變焦                                                 雙Z掃描

      大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測(cè)

    • 實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像                            無(wú)樣品準(zhǔn)備


    Software (軟件):

    激光三維表面輪廓儀

    Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):

    NS-3500是測(cè)量低維材料的有前途的解決方案。

    可測(cè)量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

    -半導(dǎo)體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測(cè),CMP工藝

    - FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測(cè),ITO圖案,LCD柱間距高度

    - MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

    -玻璃表面:薄膜太陽(yáng)能電池,太陽(yáng)能電池紋理,激光圖案

    -材料研究:模具表面檢測(cè),粗糙度,裂紋分析


    激光三維表面輪廓儀


    Specifications(規(guī)格)

    Model

    Microscope                         NS-3600

    備注

    物鏡倍率

    10x

    20x

    50x

    100x


    觀察/  測(cè)量范圍  

    水平 (H): μm

    1400

    700

    280

    140


    垂直 (V): μm

    1050

    525

    210

    105


    WD: mm

    16.5

    3.1

    0.54

    0.3


    數(shù)值孔徑(N.A.)

    0.30

    0.46

    0.80

    0.95


    觀察/測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)  

    針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)


    高度測(cè)量

    測(cè)量掃描范圍

    10mm


    顯示分辨率

    0.001 μm


    重復(fù)率 σ

    0.02 μm

    注1

    寬度測(cè)量

    顯示分辨率

    0.001 μm


    重復(fù)率 3σ

    0.03 μm

    注 2

    幀記憶

    像素

    1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


    單色圖像

    12 bit


    彩色圖像

    8-bit for RGB each


    高度測(cè)量

    16 bit


    幀速率

    表面掃描

    20 Hz to 160 Hz


    線掃描

    ~8 kHz


    激光接收元件

    PMT (光電倍增管)


    激光

    波長(zhǎng)

    638nm (2mW)


    光學(xué)觀察照相機(jī)

    成像元件

    彩色圖像 CCD 傳感器


    記錄分辨率

    1296x966


    數(shù)據(jù)處理單元

    PC


    電源

    電源電壓

    100 to 240 VAC, 50/60 Hz


    電流消耗

    500 VA max.


    重量

    顯微鏡

    大約. ~50 kg

    (測(cè)量頭大約: ~12 kg)


    控制器

    ~8 kg


    隔振系統(tǒng)

    氣浮隔振

    Option










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    Nanoscope Systems lnc
    地址:中華人民共和國(guó)上海市虹口區(qū)寶山路778號(hào)
    郵箱:info@nanoscope.net.cn
    傳真:86-21-60852363
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