激光共聚焦顯微鏡主要系統(tǒng)包括些什么？

　　激光共聚焦顯微鏡可用于準(zhǔn)確可靠的三維(3D)測(cè)量，實(shí)時(shí)共聚焦顯微鏡圖像可以通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)。這是用于測(cè)量和檢查微3D結(jié)構(gòu)的有前途的解決方案，例如半導(dǎo)體晶片、FPD產(chǎn)品、MEMS設(shè)備、玻璃基板和材料表面。

　　激光共聚焦顯微鏡采用高級(jí)光學(xué)系統(tǒng)，可通過(guò)無(wú)損觀察產(chǎn)生高質(zhì)量圖像，進(jìn)行精細(xì)的3D測(cè)量。制備操作也非常簡(jiǎn)單，無(wú)需對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)處理。是在傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的基礎(chǔ)上，利用激光為光源，利用共軛聚焦原理和裝置，通過(guò)計(jì)算機(jī)對(duì)被觀察物體進(jìn)行數(shù)字圖像處理的一套觀察、分析和輸出系統(tǒng)。主要系統(tǒng)包括激光光源、自動(dòng)顯微鏡、掃描模塊（包括共焦光路通道、針孔、掃描鏡和探測(cè)器）、數(shù)字信號(hào)處理器、計(jì)算機(jī)和圖像輸出設(shè)備（顯示器、彩色打印機(jī)）等。

　　激光共聚焦顯微鏡配備兩套光學(xué)系統(tǒng)（彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng)），可獲取顏色信息、高度信息和高分辨率圖像。405nm紫色激光和高數(shù)值孔徑物鏡可以捕捉到傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡無(wú)法發(fā)現(xiàn)的精細(xì)紋理和缺陷。簡(jiǎn)單的分析功能可以?xún)H在測(cè)量范圍內(nèi)測(cè)量步長(zhǎng)、線寬、表面粗糙度和體積。自動(dòng)檢測(cè)測(cè)量結(jié)果變化的原因（如體積分析中參考平面的邊緣位置和閾值），保持測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定，不受操作者技能水平的影響。